近年来,集成电路产业已经成为世界各国越来越重视的战略性产业,尤其在中国,集成电路产业受到了前所未有的关注,并在政策和资本的推动下获得了蓬勃发展。基于这样的形势,国际先进光刻技术研讨会(International Workshop on Advanced Patterning Solutions, IWAPS)应运而生。IWAPS为来自国内外半导体工业界、学术界的资深技术专家和优秀研究人员等提供了一个技术交流平台,参会者可以就材料、设备、工艺、测量、计算光刻和设计优化等主题分享各自的研究成果,探讨图形化解决方案,研讨即将面临的技术挑战。
自2017年以来,IWAPS已经在全国各地成功举办六届。会议投稿、会议报告与参会人数逐年增加,行业反响热烈,业已成为国内高端光刻技术领域的重要会议。此外,IWAPS自2020年起已被IEEE收录,接收论文将被送检IEEE Xplore与EI。欢迎大家踊跃报名、投稿!
第七届IWAPS将于2023年10月26-27日于浙江丽水举行
(资料图片)
欢迎各位学术和产业届的朋友莅临指导,积极投稿演讲
参会名额有限,有意者请及时报名参会
官网报名链接:
https://www.iwaps.org/cn/index/10
(点击阅读原文可跳转链接)
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-主办单位-
中国集成电路
创新联盟
中国光学学会
-承办单位-
中国科学院微电子研究所
-协办单位-
丽水经济技术开发区
管理委员会
浙江富浙资本
管理有限公司
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
南京诚芯集成电路技术研究院
-往届精彩回顾-
IWAPS 2017 北京
链接:首届国际先进光刻技术研讨会胜利闭幕
IWAPS 2018 厦门
链接:第二届国际先进光刻技术研讨会胜利闭幕
IWAPS 2019 南京
链接:第三届国际先进光刻技术研讨会在南京开幕
IWAPS 2020 成都
链接:第四届国际先进光刻技术研讨会在成都开幕
IWAPS 2021 佛山
链接:第五届国际先进光刻技术研讨会在广东佛山开幕
IWAPS 2022 北京 线上
链接:第六届国际先进光刻技术研讨会顺利闭幕
-征稿范围-
i. Optical Lithography
ii. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography
iii. Advanced Patterning Technologies
iv. Metrology, Inspection and Testing
v. Design and Technology Co-optimization and Design for Manufacturability
vi. Materials
vii. Process
-往年论文集-
IWAPS 2020:
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9286788/proceeding
IWAPS 2021:https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9670881/proceeding
IWAPS 2022:
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9971792/proceeding
IWAPS 2023 会议筹备工作已经展开
更多信息,敬请关注会议官网
www.iwaps.org/cn
(请复制链接后在浏览器中打开)
以及“光刻人的世界”微信公众号
我们会随时更新
官网报名链接:
https://www.iwaps.org/cn/index/10
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